發(fā)布時間：2023-07-14 21:43:43 人氣：3104
濕度過高產(chǎn)生的問題更多。凈化等級塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù),500，≥5μm塵粒數(shù)0，微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。絕對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，假如產(chǎn)生在精巧裝置或電路中，就會引起各種事變。絕對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片名義粘著的灰塵化學吸附在名義耐難以清除。絕對濕度越高,粘附的難去掉，但當絕對濕度低于30%時，又因為靜電力的作用使粒子也輕易吸附于名義，同時大量半導體器件輕易產(chǎn)生擊穿。對硅片生產(chǎn)最佳溫度范疇為35—45%。
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