3靶等離子濺射儀是一種基于兩極（DC）直流濺射原理設計的簡單，可靠且經(jīng)濟的涂覆設備。在真空室中安裝了三個靶材，旋轉(zhuǎn)的樣品臺可以在同一樣品上依次涂覆三種材料。因此，它適用于實驗室中各種復合膜樣品的制備以及非導電材料實驗電極的生產(chǎn)。

　　1、電子束敏感樣品

　　主要包括生物樣品，塑料樣品等。在與樣品相互作用的過程中，它以熱的形式將部分能量轉(zhuǎn)移到樣品中。如果樣品是對電子束敏感的材料，則這種相互作用將破壞部分甚至整個樣品結(jié)構(gòu)。在這種情況下，用非電子束敏感材料制成的表面涂層可以用作保護層，以防止這種損壞。

　　2、不導電的樣品

　　由于樣品不導電，其表面帶有“電子陷阱”，因此這種電子在表面上的積累稱為“充電”。為了消除充電效果，可以在樣品的表面上鍍金屬導電層。該涂層充當導電通道，以從材料表面轉(zhuǎn)移帶電的電子，從而消除帶電效應。在掃描電子顯微鏡成像過程中，3靶等離子濺射儀濺射材料以增加信噪比，從而獲得更好的成像質(zhì)量。

　　3、新材料

　　非導電材料實驗電極的生產(chǎn)，用以觀察電導率特性。

　　3靶等離子濺射儀結(jié)合內(nèi)部自動控制電路工作時，很容易控制真空室的壓力，電離電流并選擇所需的電離氣體，以獲得良好的涂層效果。根據(jù)實驗目的，可以添加各種氣體，例如氬氣和氮氣。標準靶是厚度為50mm*0.1mm的金靶，也可以根據(jù)實際情況配備銀靶，鉑靶等。樣品臺的尺寸可以安裝直徑為50mm，直徑為70mm的樣品臺，也可以根據(jù)自己的要求定制樣品臺。