高真空蒸發(fā)鍍膜儀可提供大100A鍍膜電流，大蒸發(fā)溫度高達1800℃，可滿足各種普通金屬和部分非金屬的蒸發(fā)。真空室采用高純石英，易于觀察鍍膜過程，易清洗；結合分子泵組，可達到5x10-4pa的極限真空度，有效保證氣相沉積膜的純度和附著力。

　　

　　全自動程序控制，彩色觸摸屏界面，操作簡單，可鍍金（AU）、鉑（PT）等非氧化性貴金屬，也可鍍銥（IR）、鉻（CR）、鋁(AL)等細小顆粒易氧化膜材料。特別適用于場發(fā)射電鏡、透射電鏡樣品制備和非晶碳包覆膜/TEM網格支撐膜的制作，也可為薄膜應用等材料領域提供理想的鍍膜平臺。那么它需要怎樣的維護和保養(yǎng)？

　　

　　1、高真空蒸發(fā)鍍膜儀每完成200道以上的鍍膜工序，應清洗一次工作間。方法是用飽和燒堿（NaOH）溶液反復擦洗真空室壁（注意人體皮膚不能直接接觸燒堿溶液，以免燙傷）。目的是使涂膜材料鋁（AL）與NaOH反應，反應后膜層脫落，釋放氫氣。然后用清水清洗真空室，用蘸有汽油的布擦凈精抽閥內的污垢。

　　

　　2、粗抽泵（滑閥泵和旋片泵）連續(xù)工作一個月（雨季一半）時，需要更換新油。方法是：擰下開油螺栓，排盡舊油，然后啟動泵數(shù)秒，使泵內的舊油*排出。擰上回油螺栓，將新油加至規(guī)定量（用油視鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上，換油時應打開油蓋，用布擦凈箱內臟物。

　　

　　3、高真空蒸發(fā)鍍膜儀擴散泵連續(xù)使用6個月以上，抽速明顯慢或操作不當。充入大氣，拆下連接水管，拆下電爐板，擰出噴嘴，用汽油清洗泵腔和泵囊，然后用洗衣粉和水清洗，再用水*清洗。待水揮發(fā)后，裝上泵膽，加新的擴散泵油，裝回機體，接好水管，裝上電爐板，即可重新啟動。重啟前注意漏電檢測。方法是：啟動維護泵，關閉閘門，幾分鐘后觀察擴散泵的真空度是否達到6x10pa，或進行泄漏檢測。檢查接頭處是否安裝密封膠圈或密封圈是否損壞。排除潛在的漏氣后才能進行加熱，否則擴散泵油會燒壞環(huán)而不能進入工作狀態(tài)。